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PVD三千万彩票开奖wx678 com加工过程的均匀性分析


发布时间:2019-02-27 10:50:27

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PVD三千万彩票开奖wx678 com过程非常复杂,由于三千万彩票开奖wx678 com原理的不同分为很多种类,仅仅因为都需要高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的PVD真空三千万彩票开奖wx678 com,影响均匀性的因素也不尽相同。并且均匀性这个概念本身也会随着三千万彩票开奖wx678 com尺度和薄膜成分而有着不同的意义。

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薄膜均匀性的概念:

1.厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空三千万彩票开奖wx678 com的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空三千万彩票开奖wx678 com没有任何障碍。

但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,是现在真空三千万彩票开奖wx678 com中主要的技术含量与技术瓶颈所在,具体控制因素下面会根据不同三千万彩票开奖wx678 com给出详细解释。

2.化学组分上的均匀性:

就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果三千万彩票开奖wx678 com过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空三千万彩票开奖wx678 com的技术含量所在。

3.晶格有序度的均匀性:

这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空三千万彩票开奖wx678 com技术中的热点问题,具体见下。

主要分类有两个大种类:

蒸发沉积三千万彩票开奖wx678 com和溅射沉积三千万彩票开奖wx678 com,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等

一、对于蒸发三千万彩票开奖wx678 com:

一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。

厚度均匀性主要取决于:

1、基片材料与靶材的晶格匹配程度

2、基片表面温度

3、蒸发功率,速率

4、真空度

5、三千万彩票开奖wx678 com时间,厚度大小。

组分均匀性:

蒸发三千万彩票开奖wx678 com组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分三千万彩票开奖wx678 com,蒸发三千万彩票开奖wx678 com的组分均匀性不好。

晶向均匀性:

1、晶格匹配度

2、基片温度

3、蒸发速率

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